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ウエハーアニール炉

PDFを表示 真空圧力制御、ガスフロー制御、加熱制御が簡単に行えるので
アニール試作に最適なウエハーアニール炉です


特徴

  • 高速加熱から低速加熱まで幅広い設定範囲
  • 試料を固定したままでの多段ステップ加熱
  • ガス冷却機構による、急速ガスクェンチコントロール
  • 真空中・各種ガスフロー中の加熱が可能
  • 装置・架台が一体型のため、正面パネルより
    各種ポンプ・真空計・加熱装置・ガス導入の制御が可能


ウェハーアニール炉

 

 

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