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真空チャンバ                   真空チャンバ製作例           極・超高真空チャンバ 

イオン蓄積真空層                 Φ260 球型真空チャンバ                   極真空チャンバ

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ミューメタルチャンバ           TiNコーティング                   異種金属間溶接

ミューメタルチャンバ(高透磁率材料)                   TiNコーティング(チャンバ内面処理)                   異種金属間溶接

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真空熱処理炉                   ウエハーアニール炉          真空熱処理受託サービス

角型大型真空炉               ウェハーアニール炉              受託サービス

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オイルフリー真空熱処理炉                         ドライ真空炉・真空焼結炉

角型大型真空炉                                             真空焼結炉

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