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超高真空用各種装置部品

回転導入器直線導入器トランスファーロッド    高真空対応ゲートバルブ

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真空用関連部品

NW関連

ICF関連

各種変換

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真空熱処理炉

角型大型真空炉 円筒型大型真空炉角型小型真空炉

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オイルフリー真空熱処理炉(ミューメタル板材焼き鈍し用)

角型大型真空炉 角型大型真空炉

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真空・各種チャンバ

500×1000 角型真空チャンバΦ260 球型真空チャンバSUS・アルミ・ミューメタルの製作が可能
設計〜製作まで一括受注

 

真空チャンバ・装置製作例

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ミューメタルチャンバ(高透磁率材料)ミューメタルチャンバ(高透磁率材料)

 

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ミューメタルチャンバ(高透磁率材料)製作例

 

TiNコーティング(チャンバ内面処理)TiNコーティング(チャンバ内面処理)

 

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