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    製品情報 > 精密位置決め関連 > 真空対応非磁性アクチュエータ/真空用位置決めステージ

真空対応非磁性アクチュエータ

使用雰囲気

耐強磁場、耐放射線環境、超高真空対応

分解能

30nmの高分解能

トルク

2.2kgfの高推力

コンパクト設計

コンパクトボディ
真空対応非磁性アクチュエータ
  11軸ステージ(超高真空チャンバ内)

 

 

真空用位置決めステージ

  • 超高真空中での使用が可能
  • 手動、ピエゾ、ステッピング(エンコーダ有無)から選択可能
  • 最小10nmの高分解能


様々なステージの組合せが可能

様々なステージの組合せが可能矢印真空用位置決めステージ

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