PLD装置 理化学機器 半導体製造装置

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PLD装置   
Pulsed Laser Deposition Equipment

  • PDFを表示 2インチサイズの基板加熱はレーザー、ランプ、シースより選択可能
  • ロードロック機構により基板およびターゲットの交換が可能
  • 揺動機構によるターゲットの移動および自動運転が可能
  • オプション:レーザー、光学系、レーザーフード、その他

 


PLD装置

PLD装置



 

CNT-CVD装置

Siナノワイヤ―作成装置

 

レーザー加熱

傾斜ランプ加熱

 

   

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